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有效期至長期有效 最后更新2019-10-15 17:45
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顯微鏡測量平臺

  

項目

部件

基本參數

補充說明

指定配套

VHX顯微鏡

鏡頭Z20T,帶鏡頭固定圈VHX-J20T。主機 VHX7000,

該部件由甲方提供,請確認型號。

包括部件

1.XY運動平臺

電動。

XY行程200mm*150mm。

XY軸直線度優于15um。

XY軸垂直度優于20um。

臺面尺寸250mm*200mm,采用黑色陽極氧化鋁合金板材。

步進電機+滾珠絲桿驅動,配有光柵尺檢測位置。光柵尺分辨率1um,線性度優于10um。

***小定位步距≤10um。

***大移動速度25mm/s 。

平臺移動,可由USB手柄操作,速度多級可調。也可由軟件界面的按鈕操作。

2 傾斜觀察

手動。范圍-60度~90度。

可在任意角度鎖死,穩定性好。

3 鏡頭升降

電動。升降范圍≥40mm

步進電機+梯形絲桿驅動。可鎖緊防抖。

4 測量軟件

實現跨視場測量,精度優于20um。

功能包括:單點XY坐標記錄;2點距離;1點到直線(2點)的距離;3點確定圓心和半徑等。

軟件安裝在VHX主機上。
使用方法:用戶移動鼠標指向屏幕上的特征位置,軟件記錄各個位置,進行相關測量計算。

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